荷兰半导体设备企业ASML生产的深紫外线(DUV)光刻机对华出口的最后一批订单也在美国政府的施压下被取消。由此一来,中国企业继无法使用ASML的极紫外线(EUV)设备之后,连DUV也难以再获得。随着美国加强对中国的半导体围堵,有舆论认为这可能给中国半导体产业带来危机,也有人认为中国政府或将“因祸得福”,借机推动国产化进程,意见不一。
ASML于1日(当地时间)表示:“近期,政府部分取消了我们向中国出口NXT:2050i和NXT:2100i光刻设备的许可证。”这是在美国加强对人工智能(AI)半导体对华牵制背景下采取的措施,源于美国发布规定,允许对含有美国零部件的部分ASML设备实施出口限制。
ASML是全球光刻机市场的领军企业。光刻机是在将光照射到作为半导体原材料的晶圆上,以刻画微细电路时所使用的设备。EUV使用波长为13.5纳米(nm)的短波紫外线,而DUV则使用193、248nm等长波紫外线的光刻设备。业界评价认为,具备生产EUV能力的有竞争力半导体设备企业中,ASML是唯一一家。荷兰政府自2019年起就禁止EUV对华出口。去年又预告,将对此前允许出口中国的DUV实施管制措施。
据彭博社报道,ASML原本在本月之前仍持有向中国企业运送3台顶级深紫外线(DUV)光刻设备的许可证,但据悉,美国政府官员要求其立即中止部分原定运往中国的设备出货。有分析称,这是因为去年8月中国信息技术企业华为发布的智能手机Mate 60 Pro中使用的7nm先进芯片被曝出系通过ASML的DUV生产,美国在这一事实曝光后紧急出手。
根据中国海关总署资料,去年7月至11月中国进口ASML光刻设备金额达37亿美元,同比增加超过5倍。ASML营收中来自中国的占比也从去年第一季度的8%,大幅上升到第二季度的24%、第三季度的46%。有分析认为,在EUV之后,连DUV也面临出口限制,中国担心供应受阻,因而掀起“囤积ASML设备”的热潮。
ASML预计,美国针对中国的新一轮监管措施将对其来自中国的销售额产生约15%的影响。中国是继台湾、韩国之后,ASML第三大营收来源市场。
由于此次措施几乎全面切断了中国获取ASML半导体设备的渠道,中国本土产业受到冲击几乎难以避免。但也有观点认为,美国对华半导体围堵圈越收越紧,反而会加速中国的国产化进程。根据对外经济政策研究院的统计,2022年中国半导体设备国产化率为35%,较上一年提升14个百分点,但DUV国产化率仍仅约3%。中国唯一的光刻机企业上海微电子虽已开发出国产DUV,但与ASML最新产品相比,仍存在约15年的技术差距。
ASML前首席执行官(CEO)Peter Wennink在接受彭博社采访时表示:“对中国施加的压力越大,中国将努力加倍的可能性就越高。”他对此表达了忧虑。
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