[点击 e股票]“Park Systems，DRAM微细工艺中AFM需求增长”
[亚洲经济 记者 Jang Hyowon] NH投资证券16日表示，预计Park Systems在半导体市场内原子力显微镜（AFM）的应用领域将扩大，极紫外（EUV）光罩修复设备出货等也将反映在业绩中，因此将目标股价由原先的13万韩元上调至17万韩元。
Park Systems去年第四季度实现销售额533亿韩元、营业利润185亿韩元，环比分别增长44.3%、36.8%。在逻辑5纳米及以下、动态随机存取存储器（DRAM）14纳米及以下工艺中，需要AFM观测的工序增加，带动设备订单与交付量上升。
NH投资证券研究员 Dohyunwoo表示：“预计Park Systems将在与EUV相关的工艺中受益，公司开发的EUV光罩修复设备NX-Mask订单非常活跃。”
研究员 Dohyunwoo指出：“光罩的图形容易产生缺陷和颗粒。EUV光罩单价高达10亿韩元，因此对产生缺陷的产品进行修复后再使用更为有利。用于EUV的光罩图形更小，现有设备难以进行修复。”
他表示：“Park Systems通过基于原子力显微镜的缺陷测量和探针技术，开发出了适用于EUV的设备。预计在下一代后工序混合键合（Hybrid Bonding）中，AFM的使用也将增加，这同样构成利好动能。”
同时他还表示：“在混合键合工艺中，AFM也开始被用于观测粗糙度（Roughness）、铜（Cu）焊盘形貌等。台积电（TSMC）自2022年起正式量产采用混合键合的三维系统级封装芯片（3D SoIC）工艺，预计今年相关市场将会扩大。”
本报道由人工智能(AI)翻译技术生成。
版权所有 © 阿视亚经济 (www.asiae.co.kr)。 未经许可不得转载。
