尹在ASML无尘车间视察2纳米EUV生产线:“真正的半导体同盟”(综合)
尹:“ASML技术创新是全球第四次工业革命的动力”
ASML与三星成立“半导体制造技术研发中心”
ASML与SK海力士合作开发“氢气回收再利用技术”
Park Chunseop经济首席秘书:“双方关系已从合作迈入同盟阶段”
韩国总统Yoon Suk Yeol于12日(当地时间)访问全球半导体设备企业ASML总部时表示:“为确保韩荷两国企业半导体合作项目取得成功,两国政府将加强直接沟通,并提供一切必要支持。”借此次Yoon总统对荷兰进行国事访问之机,ASML与三星电子签署了在韩国投入1万亿韩元设立“下一代半导体制造技术研发中心”的业务协议,SK海力士则与ASML签署了“用于极紫外光(EUV)的氢气再利用技术开发业务协议”。在此基础上,有评价认为两国间半导体“合作”已升级至“同盟”水平。
当天,Yoon总统与三星电子会长Lee Jae-yong、SK集团会长Chey Tae-won一同访问ASML总部,与首席执行官Peter Wennink、生产沉积设备的ASM首席执行官Benjamin Loh、研究机构IMEC首席执行官Luc Van den hove等举行座谈,并出席了3项业务协议的签署仪式。
尹向ASML嘱托:“请为与韩国企业的半导体创新及供应链稳定化努力作出贡献”
在座谈中,Yoon总统表示:“今天的访问是我本次出访行程中首个企业访问”,并嘱托ASML方面“希望能与韩国企业紧密合作,为半导体创新和全球供应链稳定化努力作出贡献”。他接着表示,“对于今天ASML与三星、SK海力士之间达成的投资合作,我感到非常高兴”,“ASML与三星今后将投资1万亿韩元,在韩国建设半导体研究开发中心(R&D中心),SK海力士则将共同开发在生产过程中大幅降低电力消耗的氢资源环保工艺”。
他还补充说:“明年2月将在ASML主导下开设由韩荷两国研究生工程师共同参与的先进半导体学院,从两国携手培养人才这一点来看,具有重大意义。”
从当天签署的业务协议内容来看,首先,在全球半导体人才短缺日益加剧的背景下,两国政府(韩国产业通商资源部与荷兰外交部)签署了合作业务协议,新设“韩-荷先进半导体学院”,利用最尖端半导体生产设备为两国研究生提供现场学习机会。先进半导体学院计划在明年2月于荷兰启动首期课程,届时将有两国共100人参加。
ASML还与三星电子签署业务协议,双方将共同投资1万亿韩元,在韩国设立“下一代半导体制造技术研发中心”,以基于下一代EUV技术共同开发超微细工艺。作为设备企业的ASML,与半导体制造企业共同在海外设立研发中心,开发半导体制造工艺,这尚属首次。在此之前,Yoon总统曾于去年11月和今年7月两次会见ASML董事长Peter Wennink,请其扩大对韩投资。
SK海力士同样与ASML签署了“用于EUV的氢气再利用技术开发业务协议”。如果在EUV设备内部实现氢气不经燃烧而直接再利用,预计电力使用量将减少20%,每年可节省165亿韩元成本。
对荷兰进行国事访问的总统 Yoon Suk Yeol 与荷兰国王 Willem-Alexander 于12日(当地时间)在费尔德霍芬的 ASML 总部出席韩荷先进半导体合作协议签署仪式后合影留念。自左起为 SK 集团会长 Chey Tae-won、尹总统、荷兰国王 Willem-Alexander、三星电子会长 Lee Jae-yong、ASML 首席执行官 Peter Wennink。图片来源=韩联社提供
View original image尹走进无尘车间……总统室称“只有真正的半导体同盟才能做到”
两国元首共同参观了ASML的无尘车间,视察下一代EUV设备的生产现场。Yoon总统与威廉-亚历山大国王参观的这处无尘车间,是迄今为止整体面貌从未对外公开过的下一代EUV生产现场。韩国政府和企业对ASML高度关注,源于ASML所从事的独一无二的业务。ASML是全球唯一生产用于7纳米(nm,1nm为10亿分之一米)及以下超微细工艺、不可或缺的EUV光刻设备的企业。用于2nm及以下工艺的下一代EUV设备“高数值孔径(High NA)”也即将亮相。
对荷兰进行国事访问的总统 Yoon Suk Yeol 当地时间12日与荷兰国王 Willem-Alexander 一同在费尔德霍芬的 ASML 总部参观无尘车间时,向正在作业的员工挥手致意。 图片由联合报道社提供
View original image在设备供应受限的情况下,希望获得最新光刻设备的半导体企业排起长队,设备到手与否已直接关系到超微细工艺的竞争力。ASML此前通过公司活动表示,计划到2026年将EUV产能提升至90台,到2028年将High NA产能提升至20台。半导体业界预计,三星电子、SK海力士、台积电(TSMC)以及美国英特尔(Intel)等将在EUV之后陆续获得High NA设备。据悉,已有多家企业完成供应合同。
经济首席秘书Park Choonseop在当地简报中表示,“半导体合作已超越合作阶段,上升到同盟阶段”,“从设计到设备、制造,整个一体化流程都将共同协作,意味着要在同盟关系下携手前行”。他接着评价称:“共同培养人才、共享经验和技术诀窍,只有真正的半导体同盟才能做到”,“预计两国在半导体领域的未来一代之间交流将更加活跃。”关于ASML与三星电子之间的业务协议,他表示:“韩国政府计划从建设到运营提供全方位支持。”
科学技术信息通信部部长Lee Jong-ho也表示:“以三星电子为例,既然已经将3nm技术应用于量产,就必然需要EUV设备”,“虽然尚未对外公开,但预计三星电子与ASML之间将通过共同投资开发与光刻(在硅晶圆上形成电路图案的工艺)相关的技术。”对于韩荷之间已构建起半导体同盟一事,他表示,“(国内半导体制造企业)在采购(EUV)设备方面,相较以往将更具灵活性,更有优势”。
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