[现场直击]像图书馆藏书般堆叠的三星·海力士晶圆……探访Lam Research研发中心
半导体设备商Lam Research打造龙仁园区
推出洁净室体验强化客户合作
高于成人身高的巨型半导体设备亮相
书架式结构堆叠晶圆吸睛
美国半导体设备企业兰姆研究为扩大其在韩国的业务，选择了龙仁半导体集群。在这里着手建设包含研究与开发（R&D）中心、制造工厂、物流中心、办公设施等在内的园区。率先建成的研发中心内洁净室里，一个个看似书架的金属结构上，堆放着大量客户三星电子和SK海力士的晶圆，引人注目。
美国半导体设备企业兰姆研究于28日向媒体公开了位于龙仁紫谷洞、占地3万平方米的综合研发中心——“韩国技术中心（KTC）”。KTC是政府和民间正在打造的龙仁半导体集群内落成的第一栋建筑，是兰姆研究为加强与三星电子、SK海力士等韩国客户合作而于去年启用的设施。
当天下午参观的KTC内，可以体验配备各类半导体设备的洁净室。洁净室是为半导体生产而建造的特殊空间，因半导体属于尖端产品，其特点是要阻断粉尘等各种外部污染。为进入洁净室，需要穿上带帽一体式白色防尘服，佩戴防护眼镜和防尘帽等，经过严格的准备流程。
走进高挑空间、四周一片白色的洁净室，首先听到的是各类半导体设备发出的机械运转声。由于超过成人身高的大型设备在忙碌运转，为了在内部进行沟通，需要使用话筒和耳机。兰姆研究方面表示，为了与客户进行实时演示并开展工艺开发，在这里按与客户相同的环境建设了洁净室。
KTC洁净室内配备了6台刻蚀设备和6台沉积设备，还可以看到多台计量设备。这些设备在从硅圆片晶圆上生产半导体芯片时，各自在给特定材料覆上一层薄膜（沉积）、之后去除不必要材料（刻蚀）、以及检查生产过程中是否存在问题（计量）等环节中发挥作用。
其中应用最广泛的是用于刻蚀工艺的“Sense.i平台”。走近Sense.i平台时，其超过2米的高度令人惊讶。由于要在有限的洁净室空间内将浪费空间降到最低，设备采用了垂直结构。负责洁净室参观的兰姆研究工程师Lee Sumin表示：“里面装有数十个传感器和摄像头，是一款提升晶圆生产效率的产品。”
洁净室空间的各处还设置了被白色墙面围起的结构体。这是兰姆研究在与客户共同开发设备进行测试，或在工艺开发过程中需要保密时，为只允许获准员工进入而采取的措施。
在另一处空间，成排奶油色金属结构像图书馆书架一样延伸数米之长，十分醒目。这里的多片晶圆被存放在方形透明亚克力盒中。Lee工程师表示：“这些是客户提供的晶圆，我们在这里进行测试后，为了将结果反馈给客户而保管在此。”
兰姆研究通过在KTC运营洁净室，不仅实现了与韩国客户的快速反馈，还得以解决各类安全保密问题。今后，将把目前在京畿道东滩运营的技术培训中心和位于板桥的韩国总部全部迁至KTC附近，在龙仁打造园区，以强化客户支持。为此，正在建设一栋办公楼，目标在明年7月完工。
兰姆研究韩国法人代表Lee Sangwon表示：“韩国不仅在动态随机存取存储器（DRAM）市场占有75%的份额，在闪存（NAND Flash）市场也占有55%的份额。正因为这里拥有三星电子和SK海力士两家重要客户，我们才会在韩国进行大规模投资。”他还补充称：“以迁入龙仁园区为契机，将与韩国半导体合作伙伴展开更为紧密的合作，全力以赴。”
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