半导体设备专业企业YesT于8日表示，公司通过与竞争对手的角逐，被单独选定为国家项目承担方的“下一代高压退火”设备开发，正式进入实质性设计阶段。以本次设计工作为起点，不仅下一代高压退火设备的开发将提速，面向现有全球企业的商业化进程也有望加快。
下一代退火设备以商业化为前提，计划由未来将使用该设备的需求企业共同参与，在设计中充分反映设备性能和开发规格等要求，从而最大化提升开发速度。YesT曾在与现有退火设备生产企业的竞争中脱颖而出，最终入选高端化高压退火设备开发国家项目。研发费用高达70亿韩元，该国家项目将按▲下一代高压退火设备设计 ▲量产设备制作 ▲设备导入后的工艺评估 ▲最终评估后签订采购协议的顺序推进。
由于本次国家项目以实现商业化为目标推进开发，YesT计划在设计阶段尽可能反映需求企业提出的设备性能与规格。浦项工科大学（POSTECH）、汉阳大学的研究团队也将作为核心技术团队参与，目标是开发出更高端的高压退火设备，提高工艺利用度。
高压退火设备是利用高压氢气和重氢气，在退火工艺中去除半导体表面缺陷、提升半导体良率的关键设备。YesT自2021年起，基于热压控制技术持续开发高压退火设备。公司近期已成功完成自主开发高压退火设备的α测试，即将进入工艺应用的β测试阶段。
YesT的高压退火设备相比以往，适用温度及压力范围更广，工艺扩展性出色，并通过实现核心设备——压力腔体的国产化，提升了价格竞争力。随着批量（Batch）规模扩大，生产效率显著提高，同时应用高效加热器技术，可在半导体生产过程中减少碳排放，这也是一大优势。
YesT相关负责人表示：“为实现下一代高压退火设备的开发及快速商业化，我们将通过与需求企业的紧密沟通，最大限度反映其需求。”他还称：“鉴于这是以需求企业采购为前提的国家项目，只要项目顺利完成，工艺导入及推广扩散应不会出现问题。”
他补充表示：“除国家项目外，我们自主开发的高压退火设备也将通过工艺阶段验证程序，加快相关测试进度，以便尽快实现商业化。”
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