[Peace & Chips]助力半导体生产自动化的“OHT”…日本独大格局下韩国产品扩张

by Kim Pyeonghwa

Published 06 Feb.2023 07:30(KST)

Updated 06 Feb.2023 07:33(KST)

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沿天花板轨道搬运晶圆的OHT
三星平泽园区P1就有约1850台
三星电子·SK海力士采用国产OHT

编者按被称为现代产业“大米”的半导体。几乎每天都会听到这个词，但真要自己开口解释时却总是不知从何说起吧？在“Peace&Chips”栏目中，我们会把艰涩的半导体概念和整个产业的脉络，变得像喂饭一样简单易懂。您只要“递上勺子”就行了。

[亚洲经济记者 Kim Pyeonghwa] 去过大学医院的人，可能都见过这台设备。这是安装在天花板轨道上来回移动的箱体形设备，医院里称之为“搬运车”。据介绍，在急诊室和采血室等科室，用它来运送各类检体和血液。在忙碌运转的大学医院里，它堪称医护人员的“手脚”。

在24小时运转的半导体工厂里，也会使用类似的设备，这就是晶圆传送装置（OHT）。OHT在将薄圆片状的晶圆加工成指甲大小的半导体芯片的过程中发挥着重要作用。它沿着天花板轨道移动，将装有晶圆的容器（FOUP）按照工序阶段转运到指定位置。

半导体工厂内部天花板上的轨道上 OHT 移动的情景 / SK海力士新闻室供图

尽管OHT看上去像是在进行简单作业，却是推动工厂自动化的核心设备。通常一件成品诞生前要经过数百道工序，对应会产生数十万次搬运作业，如果全都由人工完成，所需的人力和作业时间将是天文数字。

由于作业量大，工厂内使用的此类设备数量也不少。实际上，据称三星电子平泽园区1号生产线（P1）就配备了约1850台OHT。单价约为每台4000万韩元，相当于一辆中型轿车Grandeur的价格。速度方面，移动速度为每秒5米，属于较快水平。因为配有传感器，据说运行中的OHT之间不会发生碰撞。

OHT原本是日本长期占据优势的设备领域。据称，日本Daifuku一直引领着OHT市场。Daifuku在2021会计年度（2021年4月～2022年3月）的销售额为5122亿日元（约合4.8855万亿韩元）。不仅三星电子、SK海力士，台湾台积电（TSMC）等重量级半导体企业也都是其客户。

Semes制造的OHT设备。内部结构设计成可堆叠搬运多片晶圆。/ 图片来源=Semes官网提供

在韩国国内，原本对Daifuku的依赖度很高，但据称从几年前开始情况出现了变化。随着OHT国产化热潮兴起，Semes和SFA等本土企业开始推进技术开发。2019年日本实施出口管制后，对日本依赖度高的品类被要求加快国产化，这也进一步推动了国产化进程。

目前，三星电子和SK海力士在韩国国内工厂都已经采用国产设备。三星电子使用的是其子公司Semes生产的OHT。据悉，平泽园区P1的OHT全部由Semes供应。SK海力士在韩国国内的部分工序中也在使用国产OHT。

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本报道由人工智能(AI)翻译技术生成。