半导体设备企业“SEMS”1日表示，其自主生产的半导体单片式清洗设备累计量产销售台数首次在我国突破2500台。
统计显示，自2006年7月首次实现量产开发以来，该设备的累计销售额也已超过7万亿韩元。
单片式清洗是在半导体晶圆电路线宽不断缩小的背景下，为了去除残留在晶圆表面的微粒（污染物），对半导体晶圆逐片进行个别清洗的一种方式。SEMS的单片式清洗设备的核心技术已被认定为国家核心技术。
这些设备通过应用多种材料和新技术，将清洗性能相比以往大幅提升了90%以上，并根据晶圆的污染状态实现了清洗方式的可调节化设计。
SEMS洁净团队负责人Kim Gyeonghyeon表示：“今后将通过开发融合多种工艺技术的新产品并提升环保型设备竞争力，迈向名副其实的半导体清洗设备领军企业。”
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