[特色股]JEO启动用于EUV光罩防护膜的CNT薄膜开发

全球碳纳米管（CNT）龙头企业JEO股价走强。市场认为，其正式推进用于引领半导体产业创新的下一代极紫外（EUV）光刻胶膜用CNT膜技术开发的消息，对股价产生了影响。

7日下午1点36分，JEO报1万9450韩元，较前一交易日上涨9.15%。

JEO于本月4日作为细分牵头机构，完成了由纳米融合产业研究组合总括的EUV光刻胶膜用“碳纳米管膜制造技术开发”课题协议签署。除JEO之外，光刻胶膜专业企业FST以及汉阳大学、浦项工科大学、仁荷大学等也参与其中，将围绕利用CNT膜开发和产业化下一代EUV光刻胶膜展开合作。

通过本次业务协议，JEO将推进至2027年为止的半导体领域EUV光刻胶膜用CNT开发，并执行产学合作研究课题。该研究课题由以下内容构成：▲下一代光刻胶膜材料 ▲通过干法工艺实现CNT膜工艺 ▲为CNT膜耀斑分析与评估获取细分技术等。

在EUV工艺中，光刻胶膜的作用是保护承担电路图形转移功能的光掩膜，避免其受到异物污染。EUV工艺通过光透过进行曝光，在此过程中，可以在工艺损耗之外，将光线到达晶圆时产生的颗粒（异物）引发的掩膜损伤降至最低，从而提高产品良率。光刻胶膜是EUV工艺的核心部件，单价从数千万韩元到最高接近1亿韩元，被评价为高附加值产品。

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JEO通过20年的CNT开发，已具备世界最高水平的CNT开发技术实力。公司计划借助半导体用EUV光刻胶膜研究课题，将业务领域从二次电池用导电剂CNT拓展至半导体。JEO预计，将进一步巩固其作为下一代半导体创新材料企业的市场地位。

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