Chemtronics股价走强。有关其将大规模生产用于半导体极紫外线(EUV)工艺的核心原料的消息,被认为正在影响股价。
7日下午3点10分,该股报2.37万韩元,较前一交易日上涨12.32%。
Chemtronics表示,正将目前年产1万吨规模的“超高纯度丙二醇甲醚乙酸酯(PGMEA)”产能,扩大至2025年的2.5万吨。PGMEA是用于半导体光刻工艺的光刻胶(PR)中占比70%至80%的核心原料。Chemtronics开发的PGMEA实现了99.999%(5N)的超高纯度,用于生产EUV光刻胶。公司凭借自有的合成与精制技术积累,在约4年时间里即将实现5N级产品的量产。
此前被日本实施出口管制的EUV光刻胶(PR)用溶剂将实现量产和供应,预计将对韩国半导体产业的供应链强化产生积极效果。EUV光刻胶一直由日本企业JSR、新日铁化学(Shin-Etsu)、TOK等主导。日本政府在2019年为打击韩国半导体产业而实施出口管制时,将EUV光刻胶纳入限制对象,即出于这一原因。
PGMEA的用途扩展也是一大优势。除既有的光刻胶溶剂外,还可用作光刻胶工艺辅助材料——反射防止膜(BARC)和支撑层(SOH)的溶剂。PGMEA市场规模在2022年为9262亿韩元,2023年为9687亿韩元,预计2024年将达到约1.02万亿韩元。Chemtronics正向向终端客户供应半导体用光刻胶的厂商提供样品,推进质量测试程序。如能在年内完成终端客户认证,将于明年上半年开始供货。
据悉,公司在确保环保性的同时,提高了商业化可行性。PGMEA中含有一种名为“异构体(β-异构体)”的潜在有毒物质。全球企业要求其异构体浓度低于10ppm(表示百万分之一的单位),而Chemtronics将其降低到了1ppm。公司方面表示,全球半导体企业在制定异构体评估标准时,已开始出现参考Chemtronics指标的动向。
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