테스, '가스공급부 및 이를 구비한 박막증착장비' 특허권취득

[아시아경제 박미주 기자] 테스 는 '가스공급부 및 이를 구비한 박막증착장비'에 관한 특허권을 취득했다고 2일 공시했다.

이 특허는 디스플레이 장비에 적용되는 기술이다. 이를 통해 기판 또는 가스공급부가 이동하는 중에 공정가스를 공급해 증착이 균일하게 이뤄지도록 해 우수한 품질의 박막을 제공할 수 있다.

회사는 이 특허를 향후 제품 경쟁력 강화에 활용할 계획이다.

박미주 기자 beyond@asiae.co.kr