테스, 플라스마 발생장치 특허 취득

[아시아경제 박민규 기자] 테스 는 플라스마 발생장치 및 이를 포함한 박막증착장치에 대한 특허권을 취득했다고 8일 공시했다.

박민규 기자 yushin@asiae.co.kr