테스, 유기금속화학증착 반응기 특허권 취득

[아시아경제 권해영 기자] 테스 는 유기금속화학증착 반응기 특허를 취득했다고 22일 공시했다. 이 특허는 가스를 반응기 몸체의 측부로부터 반응기 몸체의 중앙부를 향해 가이드하는 가스 가이드 부재를 포함하는 기술로 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화에 활용될 계획이다.

권해영 기자 roguehy@asiae.co.kr