테스, 인라인 기판처리시스템 관련 특허권 취득

[아시아경제 나석윤 기자] 테스 는 인라인 기판처리시스템 및 로드락챔버 관련 특허권을 취득했다고 15일 공시했다.

이 특허는 로드락챔버의 압력을 변경해야 하는 과정을 생략할 수 있어 공정시간을 단축할 수 있고 따라서 인라인 기판처리시스템의 생산효율을 높일 수 있다는 강점을 갖는다.

회사 측은 향후 장비 제조 시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화에 주력할 방침이다.

나석윤 기자 seokyun1986@asiae.co.kr