원익IPS, 가스분사장치 특허권 취득

[아시아경제 이광호 기자] 원익홀딩스 는 가스분사장치 및 이를 구비하는 기판 처리 장치에 대한 특허권을 취득했다고 3일 공시했다.

이광호 기자 kwang@