테스, 기판 처리 장치 특허권 취득

이광호기자

입력2012.05.22 15:15

수정2012.05.22 15:15

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[아시아경제 이광호 기자] 테스 는 기판 처리 장치에 대한 특허권을 취득했다고 22일 공시했다.



이광호 기자 kwang@

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