테스, 기판처리장치 특허권 취득

[아시아경제 박충훈 기자] 테스 는 '기판 처리 장치 및 이의 배기 방법'에 관한 특허를 취득했다고 6일 공시했다.

이 기술을 응용하면 기판의 박막을 증착할 때 측방 배기를 실시해 우수한 증착 균일도를 실현할 수 있고 세정 공정시에는 하방 배기를 실시해 높은 세정 효율을 달성할 수 있다.

회사는 "장비 제조시 특허기술을 적용해 제품경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다.

박충훈 기자 parkjovi@