테스, 대면적 가스분사장치 특허권 취득

[아시아경제 조슬기나 기자] 테스 는 대면적 가스분사장치에 대한 특허권을 취득했다고 18일 공시했다. 이는 반응가스를 균일하게 확산시키고 챔버 내 중심부와 가장자리부에서의 균일한 플라즈마를 발생시킬 수 있는 장치다.

조슬기나 기자 seul@