테스, 기판처리장치 특허권 취득

[아시아경제 조유진 기자] 테스 는 기판 처리장치 기술 관련 특허권을 취득했다고 12일 공시했다. 이 기술은 반응공간에서의 가스 밀도와 반응 온도를 향상시켜 박막의 증착효율을 향상, 제품경쟁력 강화에 기여할 수 있다는 것이 회사측의 설명이다.

조유진 기자 tint@