원익IPS, 웨이퍼 센터링 방법 특허 취득

[아시아경제 지선호 기자] 원익홀딩스 는 2일 웨이퍼 센터링 방법에 관한 특허를 취득했다고 공시했다.

웨이퍼 센터링은 반도체 제조 장치에서 진공 상태의 이송 챔버 내부에서 웨이퍼를 공정 챔버로 이송 시킬때 웨이퍼의 중심점을 맞추기 위한 방법이다.

지선호 기자 likemore@