테스, 기판처리장치 특허권 취득

[아시아경제 김철현 기자] 테스 는 기판처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 8일 공시했다. 이 특허는 하나의 챔버 내에서 복수의 기판을 가열 및 냉각할 수 있어 작업처리량을 극대화할 수 있는 기술이다.

김철현 기자 kch@