테스, 박막증착장치 특허권 취득

[아시아경제 김보경 기자] 테스 는 박막증착장치에 관한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.

회사 측은 "디스플레이 장비에 적용되는 기술로, 여러 개의 기판을 동시에 이동시키면서 복수개의 가스공급부에 의해 가스를 공급함으로써 기판 처리량을 향상시킬 수 있다"고 설명했다.

김보경 기자 bkly477@asiae.co.kr