테스, 박막 증착장지 관련 특허 취득

[아시아경제 박혜정 기자] 테스 는 박막 증착장치 관련 특허를 취득했다고 26일 공시했다.

회사 측은 "이 기술을 이용하면 기판의 손상을 방지하면서 우수한 품질의 박막을 제공할 수 있고 증착 시간도 단축할 수 있다"고 설명했다.

박혜정 기자 parky@asiae.co.kr