로체시스템즈, 반도체 이송장비용 로드포드 특허 취득

김소연기자

입력2013.11.28 11:17

수정2013.11.28 11:17

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[아시아경제 김소연 기자] 로체시스템즈 는 반도체 이송장비(EFEM) 적용될 로드포트 관련 특허권을 취득했다고 28일 공시했다.




김소연 기자 nicksy@asiae.co.kr

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