로체시스템즈, FOSB오토로딩시스템 특허취득

[아시아경제 김영식 기자]코스닥 상장기업 로체시스템즈 는 FOSB 오토 로딩 시스템에 대한 특허를 취득했다고 2일 공시했다. 이는 반도체 웨이퍼를 적재·수송하는 FOSB로부터 커버를 탈착한 후 메인 스토커의 로딩 위치에 안착시킬 수 있는 기술로, 반도체 장비에 적용할 예정이라고 로체시스템즈는 밝혔다.

김영식 기자 grad@