테스 "열에너지 낭비 방지 반도체 제조장비 특허 취득"

[아시아경제 김효진 기자] 테스 는 열교환용 플레이트가 구비된 트랜스퍼 챔버 및 이를 구비한 반도체 제조장비에 대한 특허권을 취득했다고 20일 공시했다.

테스는 이 장비를 공정에 이용하면 열에너지의 낭비를 막을 수 있고 공정 속도가 높아지는 효과가 있다고 설명했다.

김효진 기자 hjn2529@