테스, 기판처리방법 특허권 취득

[아시아경제 유제훈 기자] 테스는 기판처리방법에 대한 특허권을 취득했다고 2일 공시했다.
회사 측은 "이 특허는 반도체 장비에 적용되는 기술이다"라며 "특허 기술 적용을 통해 제품경쟁력을 강화하겠다"고 밝혔다.

유제훈 기자 kalamal@asiae.co.kr