윈익아이피에스, 진공처리시스템 관련 특허권 취득

[아시아경제 김민영 기자] 원익아이피에스는 진공처리시스템, 진공처리시스템에 사용되는 버퍼 모듈 및 진공처리 시스템의 트레이 이송 방법에 대한 특허권을 취득했다고 5일 공시했다.

김민영 기자 argus@asiae.co.kr