테스, 박막 증착장치 관련 특허 취득

[아시아경제 김소연 기자] 테스 는 박막 증착장치 관련 특허권을 취득했다고 17일 공시했다. 이번 특허는 기판 표면에 증착을 균일하기 이뤄지도록 하는 것이다.

김소연 기자 nicksy@asiae.co.kr