인텍플러스, 반도체 소자 검사장치 특허 취득

[아시아경제 박민규 기자] 인텍플러스 는 클리닝 수단이 일체로 구비된 반도체 소자의 검사장치 및 이를 이용한 반도체 소자의 검사방법과 반도체 패키지 검사시스템에 대한 특허권을 취득했다고 5일 공시했다.

박민규 기자 yushin@