원익아이피에스, 가스분사조립체 특허권 취득

[아시아경제 배경환 기자] 원익아이피에스는 가스분사조립체 및 이를 이용한 박막증착장치에 대한 특허권을 취득했다고 28일 공시했다. 회사측은 향후 반도체 장비에 적용한다는 방침이다.

배경환 기자 khbae@