원익IPS, 반도체 제조장비 특허권 취득

[아시아경제 오현길 기자] 원익홀딩스 는 반도체 제조장치인 증착 및 세정효율이 개선된 공정 챔버에 관련한 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.

오현길 기자 ohk0414@