에스엔유프리시젼, CIGS 박막 급속 열처리장치 특허 취득

[아시아경제 박민규 기자] 에스엔유 프리시젼은 구리·인듐·갈륨·셀레늄(CIGS) 박막 급속 열처리 장치 특허를 땄다고 16일 공시했다. 기판에 형성된 CIGS 박막 물질을 균등한 온도로 열처리하는 기술이다.

박민규 기자 yushin@