원익아이피에스, 웨이퍼 표면 잔류전하 제거 특허 취득

[아시아경제 오주연 기자] 원익아이피에스는 웨이퍼 표면의 잔류 전하 제거 방법에 대한 특허권을 취득했다고 25일 공시했다.

회사 측은 이번 특허 기술을 적용해 제품 경쟁력 강화 및 차별화를 꾀할 것이라고 밝혔다.

오주연 기자 moon170@