원익아이피에스, 리프트핀 구동기술 특허권 취득

[아시아경제 조슬기나 기자]원익아이피에스는 진공처리장치의 기판 로딩 및 언로딩 정확도 개선을 위한 리프트핀 구동기술에 관한 특허권을 취득했다고 18일 공시했다.

조슬기나 기자 seul@