테스, 마그넷 셔터 관련 특허권 취득
박소연
기자
입력
2011.08.02 13:58
수정
2011.08.02 13:58
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[아시아경제 박소연 기자]
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는 마그넷 셔터 및 이를 이용한 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 2일 공시했다.
박소연 기자 muse@
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