테스, 웨이퍼 이송 로봇용 블레이드 특허

[아시아경제 김철현 기자]테스는 '웨이퍼 이송 로봇용 블레이드'에 관한 특허를 취득했다고 17일 공시했다. 테스에 따르면 이번 특허 기술은 웨이퍼의 이송 과정에서 발생되는 웨이퍼 손상을 최소화할 수 있으며 웨이퍼를 효과적으로 흡착할 수 있도록 구조가 개선되는 효과도 있다.



김철현 기자 kch@