코미코, 반도체 장비용 정전척 특허 취득
임철영
기자
입력
2009.08.06 13:29
수정
2009.08.06 13:29
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코미코
는 반도체 장비용 정전척(ESC)에 대한 특허를 취득했다고 6일 공시했다.
임철영 기자 cylim@asiae.co.kr
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