주성엔지니어링, 진공 펌핑 시스템 특허 취득

주성엔지니어링은 10일 진공 펌핑 시스템 관련 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사측은 “특허권 발명으로 반도체 또는 LCD 제조에 사용되는 공정장치에서 장비의 가격을 낮추는 효과가 있다"고 밝혔다.

박선미 기자 psm82@asiae.co.kr