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소디프신소재, 모노실란 정제방법 특허취득

최종수정 2008.01.14 09:18 기사입력 2008.01.14 09:18

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소디프신소재는 14일 모노실란의 정제방법에 관한 특허를 취득했다고 공시했다.

이번에 취득한 특허는 모노실란 중에 포함되는 미량 불순물을 저비용, 고효율로 제거해 초고순도의 모노실란을 제조하는 방법이다.


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