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<스몰캡>비에이치, 반도체장비 부품 국산화 특허획득

최종수정 2007.09.12 11:26 기사입력 2007.09.12 11:26

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비에이치가 반도체 FAB라인 장비의 핵심부품을 국산화할 수 있는 특허를 획득했다.

비에이치는 12일 반도체 웨이퍼 베이크용 핫플레이터(히터)를 위한 '니켈 패턴이 형성된 질화알루미늄 기판의 제조방법'에 관한 특허를 취득했다고 밝혔다.

이에 따라 독과점으로 일본업체가 공급하고 있던 반도체 FAB(FABrication) 라인의 트랙 장비 부품을 국산으로 교체할 수 있게 됐다.
비에이치는 이번 특허와 관련한 초도양산 테스트과제도 수주하는데 성공, 세라믹부품시장에서 한발 앞서가는 계기를 마련했다고 밝혔다.

이번 특허는 반도체 FAB 라인의 트랙장비 부품 중 핵심부품인 핫플레이트(Hot Plate) 제조기술에 관한 것으로, 핫플레이트는 진공 프로세스 및 플라즈마를 사용하는 감광성 수지 도포, 에칭, 증착 공정에서 반도체 웨이퍼의 정밀한 온도조절을 위한 부품이라고 회사측은 설명했다.

세라믹 소재 중에서도 열전도성과 경도가 높은 질화알루미늄 세라믹(AIN Ceramic)으로 만들었다고 덧붙였다.

비에이치 관계자는 "이번 특허를 계기로 이비덴(일본 교세라 계열사)이 독과점하고 있는 핫플레이트를 국산화할 수 있을 것"이라며 "도금방식으로 니켈패턴 형성의 질화알루미늄 기판 제조의 본 특허를 획득해, 원가 개선이 힘든 핫플레이트 부품에 대한 우수한 가격 경쟁력을 획득하게 됐다"고 설명했다.

또 "국산 핫플레이트 공급으로 원가 인하뿐 아니라 소모성 부품의 모듈 교체에 의한 낭비를 없애 원가 개선 효과가 클 것으로 기대하고 있다"고 덧붙였다.

비에이치 김재창 대표는 "일정한 열편차를 유지해 제품의 재현성 및 성능을 향상시키는 것이 가능하다"며 "본격 양산을 위한 초도 양산 테스트 과제를 추가 수주받아 내년부터 본격적인 매출 및 양호한 수익이 발생할 것"으로 내다봤다.

김지은 기자 jekim@newsva.co.kr
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