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동부하이텍, 제조공정 최적화(DFM) 솔루션 도입

최종수정 2007.08.21 15:10 기사입력 2007.08.21 15:07

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동부하이텍 반도체부문(대표 오영환 사장,)은 21일 미국 앤커 사(Anchor Semiconductor Inc.)로부터 90 • 130나노급 반도체 생산에 적용할 수 있는 제조공정 최적화 솔루션(DFM 솔루션)을 도입했다고 21일 밝혔다.

이번에 도입한 DFM 솔루션은 90나노급 이상의 초미세공정에서 팹리스(반도체 설계전문회사)들이 설계한 반도체 회로가 실제 생산과정에서 발생하는 회로 간의 간섭 현상 등의 문제들로 인해 다르게 패턴화되는 오류를 사전에 예측· 보완해 주는 툴이다

회사 측은 "이 솔루션을 이용할 경우 반도체 제조공정 상의 오류를 최소화할 수 있어 약 1년 이상 걸리는 공정기술 개발 기간을 최대 6개월 이상 단축 시킬 수 있을 것"이라며 "포토공정에서 해상도를 높일 수 있는 등 생산 수율도 향상 시킬 수 있어 고객사들에게 고품질의 제품을 신속하게 공급할 수 있을 것으로 기대된다다"고 설명했다.

동부하이텍 관계자는 “이번 솔루션은 현재 130나노급 반도체 양산과 110 •90나노급 반도체의 공정 개발 등에 적용하고 있으며, 60•45나노급에서도 적용이 가능하다"고 말했다.

윤종성 기자 jsyoon@newsva.co.kr
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