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[현장] 삼성 최창식 부사장 "반도체 공장 아무 이상 없다"

최종수정 2007.08.06 13:07 기사입력 2007.08.06 12:12

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'삼성 반도체 공장 이상無'

삼성전자가 기흥 공장의 S라인을 국내외 언론에 공개하고 정전 사고 이후 생산 설비가 정상 가동되고 있다고 밝혔다.

삼성전자 출입 내외신 기자 50여명은 6일 경기도 기흥 삼성전자 반도체 공장의 S라인을 둘러봤다. 

S라인은 시스템LSI가 12인치 웨이퍼를 투입해 비메모리 반도체를 생산하는 라인이다. 

이 라인은 지난 3일 오후 2시30분 정전으로 전원이 차단된 지 4시간 만에  전원이 다시 공급돼 4일 오전 4시30분부터 정상 가동되고 있다. 

삼성전자는 보안상 이유로 사진 촬영 등을 일체 금지했으며 유리창을 통해 라인을 밖에서 둘러볼 수 있도록 했다. 

삼성전자 시스템LSI 최창식 부사장은 브리핑에서 "웨이퍼 폐기에 따른 재료비, 매출 손실, 미 예측 부분을 감안한 잠재적 손실 가능성 등을 합하면 전체 피해 금액은 400억원 이하가 될 것으로 예상된다"고 말했다. 

그는 "정전에 대비해 핵심 설비의 백업 투자를 했었고 질소와 포토,  에칭 등 핵심 설비는 비상 발전 시스템을 가동했으며 오염차단 설비 투자를 통해 높은 수준의 오염 차단 설비 구축했기 때문에 조기 정상화가 가능했다"고 설명했다.

최 부사장은 이어"사고 직후 신속히 클리닝 작업을 시작했고 다른 라인의 엔지니어와 연구원들도 철야 복구 작업에 참여했다"며 "정확한 사고 원인 등은 한전 등 내외 전문가들이 참여한 가운데 조사 중"이라고 덧붙였다.

사고 이후 생산된 웨이퍼 모습도 공개됐다. 

최 부사장은 "사고 이후 수율은 사고 전 수준으로 이미  회복됐다"고  말했으며 웨이퍼 손실 부분에 대해서는 구체적인 언급을 피했다.

지난달 K1 지역 라인의 정전과 관련, 최 부사장은 "당시 15초 정도 전원이 잠시 중단됐을 뿐, 빠른 시간 내에 복구해 피해는 없었다"고 확인했다. 

기흥=윤종성 기자 jsyoon@newsva.co.kr
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