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케이씨텍, 기판세정용 유체분사장치 관련 특허 취득

최종수정 2007.07.12 14:26 기사입력 2007.07.12 14:26

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케이씨텍은 12일 기판세정용 유체분사장치와 기판세정용 이류체 분사모듈 및 이를 이용한 기판세정장치의 특허를 취득했다고 공시했다.

김경민 기자 min@newsva.co.kr
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