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GST, 폐가스 정화처리장치용 습식유닛 개발

최종수정 2007.04.23 14:48 기사입력 2007.04.23 14:47

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글로벌스탠다드테크놀리지는 23일 폐가스 정화처리장치용 습식유닛을 개발했다고 공시했다.

회사측은 "반도체 제조공정에 사용되는 폐가스 정화처리장치의 토출부에서 배출되는 분진입자 및 수분을 포집제거하는데 활용할 예정"이라고 밝혔다.

고형광 기자 kohk0101@akn.co.kr
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