bar_progress

아시아경제 최신 기획이슈

아토, 원격 플라즈마 세정 세스템 특허취득

최종수정 2007.04.03 17:41 기사입력 2007.04.03 17:40

댓글쓰기

아토는 3일 3개의 세정 소스 배출 포트가 형성된 도파관을 구비하는 CVD 장비의 원격 플라즈마 세정 시스템과 관련된 특허를 취득했다고 공시했다.

구경민기자 kkm@akn.co.kr
<ⓒ '오피니언 리더의 on-off 통합신문' 아시아경제>



간격처리를 위한 class