에어리퀴드, 충남 천안에 크립톤·제논 정제공장 착공

반도체·우주분야 희귀가스 공급망 강화

에어리퀴드가 국내에 새로운 최첨단 고순도 크립톤과 제논 정제공장을 착공했다고 15일 밝혔다.

충남 천안시에서 지난 3월 착공 신규 공장은 2025년부터 본격적인 양산을 계획 중이다. 이 신규 공장을 통해 에어리퀴드는 고순도 크립톤과 제논을 국내에서 생산할 수 있게 된다.

크립톤과 제논은 반도체, 우주 산업 등 첨단기술에 주로 사용되는 희귀가스다. 반도체 산업에서는 메모리칩 생산의 핵심 소재로써 3D 낸드의 단수 증가에 핵심적인 공정인 수직 홀을 식각하는 공정에 주로 사용된다.

우주 산업에서는 인공위성 전기 추진체에 크립톤과 제논이 사용되는데, 이는 다른 기술에 비해 무게를 줄이고 효율성을 높이는 기술이다.

에어리퀴드 관계자는 "고객을 위한 희귀가스의 안정적인 공급이 촉진돼 한국이나 아시아의 희귀가스 공급망이 한층 더 강화될 전망"이라며 "반도체와 우주 산업 분야에서 고부가가치 소재의 공급 신뢰성을 높여 고순도 희귀가스 수요 확대에 대응할 수 있는 역량을 갖추게 된다"고 말했다.

한편 1996년 한국에 진출한 에어리퀴드는 석유화학, 철강, 반도체, 자동차 제조 등 분야에 산업용 가스와 관련 서비스를 제공해 오고 있다.

오현길 기자 ohk0414@asiae.co.kr