예스티, 반도체 습도제어 네오콘 누적 수주 65억

[아시아경제 박형수 기자] 반도체 장비업체 예스티 가 국내 반도체 기업과 65억원 규모의 고효율 습도 제어 장비 ‘네오콘’ 수주 성과를 올렸다고 31일 밝혔다. 지난해 10월 장비 공급을 시작한 이후 단기간에 이룬 성과다.

네오콘은 기존 반도체 공정에 사용하던 질소가스 기반 습도 제어 장비를 대체하는 장비다. 질소를 사용하지 않아 원가 절감 효과가 크다. 기존 고객사뿐 아니라 해외 반도체 기업 및 국내외 메이저 반도체 장비사도 네오콘의 원가 절감 효과 등을 확인하고 있다.

예스티는 지난해 10월 차세대 습도 제어 장비 네오콘을 개발하고 국내 반도체 기업과 공동으로 공정평가를 진행했다. 공정평가 결과 습도를 기준치 이하로 제어할 수 있다는 평가를 받았다. 네오콘 수주계약을 체결한 이후 공급 물량을 점차 늘리고 있다.

네오콘은 파운드리 공정뿐 아니라 메모리 및 디스플레이 공정으로도 적용이 확대될 예정이다. 최근 반도체 기업의 공정 미세화 추세가 가속화되고 있어 습도 관리 중요성이 커졌다.

예스티 관계자는 "네오콘은 공정평가 과정에서 고객사가 요구하는 기준보다 훨씬 뛰어난 습도제어 성능을 인정받아 파운드리 공정 및 메모리 공정에도 공급하는 데 성공했다"고 말했다.

박형수 기자 parkhs@asiae.co.kr

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