반도체 제어장비 최적의 스케줄로 제어하는 수리적 방법 제시
미래창조과학부(장관 최양희)와 한국연구재단(이사장 정민근)은 이 교수를 이달의 과학기술자상 12월 수상자로 선정했다고 발표했다. 이 교수는 반도체 웨이퍼 제조공정에 사용되는 클러스터장비의 작업 순서를 최적으로 결정하고 통제할 수 있는 세계 최고 수준의 공정장비 스케줄링과 제어 기술을 개발했다.
공정이 끝난 웨이퍼가 챔버 안에 남아 있어 가스나 열에 의해 변형되거나 다음 챔버에 투입하기 위해 대기하면서 냉각되는 문제 등을 해결하기 위해 지연시간 제어기술을 이 교수가 개발했다. 지연시간 제어기술은 반도체 미세회로의 선폭이 10나노대로 계속 좁아지면서 반도체 제조공정에 대한 품질관리가 중요하게 부각된 상황에서 웨이퍼 품질의 수율 향상에 기여할 것으로 기대된다.
이 교수는 지난 15년 동안 해당분야 연구를 선도하고 최고 수준의 학술지에 최근 3년간 18편(게재승인 6편 포함)을 게재했다. 반도체 제조업체와 공정장비 제조업체 등 산학협력을 통해 기술을 이전하고 장비 스케줄러를 국산화하는 노력도 진행해 왔다.
정종오 기자 ikokid@asiae.co.kr
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