[아시아경제 이초희 기자]국가 미래성장동력 및 차세대 먹거리 분야를 선도하는 '차세대 능동형 유기발광다이오드(AMOLED) 대량생산 원천기술을 국내 중견기업이 확보하게 됐다.
AMOLED 패널 제작의 핵심공정인 저온 실리콘 결정화 공정은 비정질 실리콘을 폴리실리콘으로 변환하는 공정이다. 비정질 실리콘 막 증착 증착된 막에 포함된 수소를 제거하는 탈수소 공정 레이저 열처리 등 크게 3단계로 구성돼 있다.
이번에 이전된 기술은 수소를 포함하지 않는 비정질 실리콘 막 증착 장
비 개발에 필요한 기술이다. 이 경우 탈수소 공정이 필요하지 않아, 본 기술을 적용한 장비를 사용하는 AMOLED 디스플레이 제조사는 생산설비 및 제조단가 감소, 생산 수율 개선을 달성할 수 있다.
AP시스템은 기존 주력장비인 레이저 열처리 장비를 이 기술을 적용한 비정질 실리콘 막 증착 장비와 융합해 단일 공정의 폴리실리콘 막 형성 장비를 개발할 계획이다.
내년 상반기까지 장비 개발 및 테스트를 마치고 이후 디스플레이 제조사와 협력을 통해 대형 기판용 양산장비를 개발해 2015년 말 또는 2016년 초 시장 진입을 목표로 하고 있다. 2016년도 예상매출액 규모는 1000억원이다.
미래부 관계자는 "AMOLED 대량생산 원천기술을 국내 중견기업이 확보하면서 산업경쟁력과 고부가가치를 창출할 수 있을 것"이라며 "앞으로도 사업화 가능한 유망성과가 중소ㆍ중견기업에 이전돼 활발히 활용될 수 있도록 계속 지원할 계획이다"고 밝혔다.
이초희 기자 cho77love@asiae.co.kr
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